特許
J-GLOBAL ID：200903017885415763
スピン洗浄乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栂村 繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304350
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126264
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 エアー取込量を調整する。【構成】 筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変エアーシャワー板を回転できるように設け、スピンカップに排出管を設けて気液分離器と排気量を調整するダンパーを介して排気ブロアーで吸引するスピン洗浄乾燥装置。
請求項（抜粋）：
筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エアーシャワー板を回転できるように設けたことを特徴とするスピン洗浄乾燥装置。
IPC (2件)：
B08B 11/02
, H01L 21/304 341
