特許
J-GLOBAL ID：200903017885439654
レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305931
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160478
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 SHGレーザの出力をAPC制御するためのモニタ光に、励起光の漏れ光および基本波の漏れ光が混入するのを抑止して、APC制御を高精度に行なう。【構成】 励起用LD11から射出されたレーザ光の照射を受けた、固体SHGレーザ共振器12から、第2高調波(SH光)LSHと励起レーザ光の漏れ光L0 および基本波の漏れ光LB とからなる光Lが出力される。この出力光Lの一部をAPC制御のモニタ光としてビームスプリッタ15により分割して取り出し、この取り出された反射光L2 を、励起光カットフィルタ16a および基本波カットフィルタ16b を通過させることによって、APC制御のモニタ光としてSH光LSHのみが光検出器17に検出されるようにする。
請求項（抜粋）：
波長 750〜 850nmの励起光を出射する励起光源と、該励起光を照射されて波長1200〜1400nmの基本波を出力するレーザ媒質と該レーザ媒質より出力された前記基本波を波長 600〜 700nmの第2高調波に変換する波長変換素子とからなるSHGレーザ共振器と、該SHGレーザ共振器から出力された前記第2高調波と該SHGレーザ共振器から漏れて射出された前記励起光の漏れ光および基本波とからなる該SHGレーザ共振器からの出力光の一部を分割する光分割手段と、該光分割手段により分割された前記出力光の一部について、前記励起光の漏れ光および基本波をそれぞれ前記第2高調波に対して相対的に減衰させる減衰手段と、該減衰手段により前記励起光の漏れ光および基本波が減衰された後の前記出力光の一部の光強度を検出し、この検出された光強度に基づいて前記SHGレーザ共振器から出力される第2高調波の光強度を制御する制御手段とを備えてなることを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件)：
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