特許

J-GLOBAL ID：200903017885601389

マイクロターゲットを用いた方法及びラジエーション生成システム

発明者： トゥルキュ、アイ、シー、エドモンド ,  フォスター、リチャード、エム ,  ピコ、キャレイ、エー ,  モーリス、ジェイムズ、エイチ ,  パワーズ、マイケル、エフ ,  カロセーラ、ジョン、エイチ
出願人/特許権者： ジェイ エム エー アール リサーチ、インク
代理人 (1件)： 木村 満
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-534180
公開番号（公開出願番号）：特表2003-513418
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：

【要約】所望の波長の放射線を生成するシステム及び方法がマイクロターゲット(101,210)を照射することにより提供される。これらのマイクロターゲット(101,210)は、所望の波長の放射線を放出する任意の材料から選択される。分配システム(100,200)は、マイクロターゲットがエネルギー源(132)により照射される照射ゾーンにマイクロターゲットを搬送する。マイクロターゲット(101,210)は、液体若しくは固体形態で分配され得る。一旦形成されると、所望の放射線は、照射ゾーンからビームラインに向けられ、一方で、照射ゾーン(117)、エネルギー源(132)及びビームライン(142)に連通する残さ除去装置は、残渣及びその他の汚染物がシステム装置を汚染することを実質的に防ぐ。

請求項（抜粋）：

マイクロターゲットをマイクロターゲットパス上に分配する分配装置と、 エネルギーパスに沿ってエネルギービームを放出するエネルギー源と、 エネルギーパス内とマイクロターゲットパス内とに配置された照射ゾーンと、前記マイクロターゲットパスは照射ゾーン内の前記エネルギーパスを横切り、 前記照射ゾーン内で生成されたラジエーションを受信するように構成されたビームラインと、 前記照射ゾーンの下流で、前記マイクロペレットパスに沿う残さ(debris)除去装置と、を備えることを特徴とする固体材料を含むマイクロターゲットを使用するラジエーション生成システム。

IPC (4件)：

H05G 1/00 ,  H01J 35/08 ,  H01J 35/16 ,  H05G 1/02

FI (5件)：

H01J 35/08 B ,  H01J 35/08 C ,  H01J 35/16 ,  H05G 1/02 ,  H05G 1/00 R

Fターム (10件)：

4C092AA05 ,  4C092AA06 ,  4C092AB12 ,  4C092AB27 ,  4C092BD01 ,  4C092BD04 ,  4C092BD05 ,  4C092BD15 ,  4C092BD18 ,  4C092BD19