塵埃発生装置及びクリーンルーム装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136816
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329385
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】発生させる塵埃量と粒径を精度良く制御することができる。【解決手段】塵埃を含有するエアを送気手段エアコンプレッサー1により供給ラインを介して送気する途中で、フィルタ4を通過させることで所定粒径以上の塵埃をカットする。次に、発塵用パーティクルカウンター6でフィルタ4を通過した塵埃の塵埃量を測定し演算器7に出力する。演算器7では、発塵用パーティクルカウンター6での測定値と予め設定した塵埃量とを比較して、測定値が設定値になるように流量調整器3を制御する。

請求項（抜粋）：

塵埃を含有するエアを送気する送気手段を備えた供給ラインと、前記供給ラインを流れるエア流量を調整する流量調整手段と、前記供給ラインを流れるエア中の塵埃から所定粒径以上の塵埃を除去するフィルタと、前記フィルタを通過したエア中の塵埃量を測定する発生塵埃量測定手段と、前記発生塵埃量測定手段の測定値と予め設定した塵埃量の設定値とを比較して、前記測定値が前記設定値になるように前記流量調整手段を制御する演算器と、を備えたことを特徴とする塵埃発生装置。

Fターム (4件)：

3L058BF01 , 3L058BF09 , 3L058BG03 , 3L058BG04

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