特許

J-GLOBAL ID：200903017894955355

化学蒸着による物品製造方法および該製造方法で使用される支持部材

発明者： トーマス・リチヤード・アンソニー ,  ロバート・ヘルムート・エツテインガー ,  ジエームス・フルトン・フライシヤー
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ
代理人 (1件)： 生沼 徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101490
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117854
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 化学蒸着による物品製造方法に於いて、例えばダイヤモンドを心棒(マンドレル)上に析出させてチューブ状物品を製造する場合の心棒の食刻除去時間を短縮し、同時に、製造されるべきダイヤモンドチューブに隆起と亀裂とが生じることを防止する。【構成】 心棒即ち支持部材として、内面と外面とを有する中空構造の部材を使用する。支持部材の食刻除去は上記内面に沿って行なわれ、従来と比較して食刻時間が極めて大幅に短縮される。

請求項（抜粋）：

内面と外面を有する中空構造体から成る、化学蒸着による物品製造に使用される支持部材。

IPC (5件)：

C23C 16/02 ,  B24C 5/04 ,  C04B 41/91 ,  C23C 16/26 ,  C23F 1/00