電子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999006054
公開番号（公開出願番号）：WO2001-033603
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月10日
要約：

【要約】試料(10)に照射される電子線(4)は走査コイル(9)によって二次元的に走査され、それによって試料(10)から発生する二次電子は二次電子検出器(13)によって検出される。イメージシフト用の偏向コイル(15)は一次電子線を電気的に偏向してイメージシフトによる視野移動を任意方向に任意量だけ行うのに用いられる。このイメージシフトによって、試料に照射される一次電子線(4)はエネルギー分散を起こし、分解能が低下する。しかし、分散制御用のE×Bフイールド発生器(30)は上記エネルギー分散と方向が逆で大きさが同じエネルギー分散を与える。したがって、イメージシフトによって一次電子線に発生したエネルギー分散は自動的に補正される。

請求項（抜粋）：

電子線を放出させる電子源と、前記電子線を収束する収束レンズと、前記収束された電子線を試料上で走査して該試料の走査像を生成する手段とを含む電子線装置において、前記電子線をエネルギー分散させかつそのエネルギー分散を前記電子線の軸を横切る平面内において任意方向に生成することができるエネルギー分散制御手段を備えていることを特徴とする電子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/147 , H01J 37/05 , H01J 37/153

FI (3件)：

H01J 37/147 B , H01J 37/05 , H01J 37/153 B

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