特許

J-GLOBAL ID：200903017901248392

水晶振動子及びその製造方法

発明者： 小田 精司 ,  上原 博 ,  梅木 三十四
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-198325
公開番号（公開出願番号）：特開2004-040693
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【目的】振動特性にバラツキの少ない特に高周波帯の水晶振動子を提供する。【構成】貫通孔を有する第1水晶片と平板状の第2水晶片とを直接接合によって張り合わせてなり、外周部よりも厚みの小さい振動領域を有する水晶振動子であって、前記貫通孔は、前記外周部に保護膜を設け、前記貫通孔となる領域に微細粉体を吹き付けて形成された構成とする。さらには、これらの水晶振動子を水晶ウェハから一体的に写真技術によるエッチングを用いた製造方法とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

貫通孔を有する第1水晶片と平板状の第2水晶片とを直接接合によって張り合わせてなり、外周部よりも厚みの小さい振動領域を有する水晶振動子であって、前記貫通孔は、前記外周部に保護膜を設け、前記貫通孔となる領域に微細粉体を吹き付けて形成された水晶振動子。

IPC (2件)：

H03H3/02 ,  H03H9/19

FI (2件)：

H03H3/02 C ,  H03H9/19 D

Fターム (6件)：

5J108BB02 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11