特許
J-GLOBAL ID：200903017901460316
レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022288
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228639
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 超音波発生用及び超音波検出用のレーザービームを検査対象の表面上で走査させるタイプのレーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法において、欠陥検出の感度を向上させる。【解決手段】 本発明ではパルス幅の狭い超音波発生用レーザー(曲線aで示す)を、超音波検出用レーザーのピーク値近傍で放射するよう、放射タイミングを制御する。また、超音波検出用のレーザービーム(曲線bで示す)は、回転チョッパを用いて、要求探傷深さに対応する時間幅Tの間だけ検査対象に照射し、それ以外の時間はビームを遮断して検査対象への照射を抑止する。これにより、超音波発生用のレーザービームが照射される前に検査対象の照射位置の温度が上昇しているのを防止できる。その結果、超音波を効率よく発生させることができ、欠陥に起因する超音波のエコーの検出感度が向上する。
請求項（抜粋）：
検査対象内に超音波を発生させるためのパルス状の第一のレーザービームを放射する第一のレーザー光源と、検査対象内を伝播した超音波エコーを検出するための第二のレーザービームを放射するレーザー光源であって、第一のレーザービームのパルス幅より長い期間継続して発振する第二のレーザー光源と、前記検査対象に照射される第二のレーザービームを一時的に遮断して、前記検査対象に対する第二のレーザービームの照射状態と遮断状態とを定期的に繰り返すようにするチョップ手段と、第二のレーザービームが検査対象で反射されるときに前記超音波エコーに起因して生じる光周波数の変位を検出する光周波数変位検出手段と、ミラーの反復回転により、当該ミラーで反射した第一及び第二のレーザービームを検査対象の所定の走査範囲において走査させるとともに、検査対象で反射された第二のレーザービームの反射光を前記ミラーで反射して前記光周波数変位検出手段へ導くビーム走査手段と、前記チョップ手段による第二のレーザービームの照射開始タイミング及び照射時間、並びに第一のレーザービームの放射タイミングを制御する制御手段とを具備し、第二のレーザービームの前記照射時間を要求探傷深さに対応させ、かつ、第二のレーザービームの遮断後の照射開始タイミングを、第一のレーザービームの放射タイミングと同時又は第一のレーザービームの放射タイミングの直前となるようにしたことを特徴とするレーザー超音波検査装置。
Fターム (5件)：
2G047AA07
, 2G047BC07
, 2G047CA04
, 2G047EA05
, 2G047GD01
