特許
J-GLOBAL ID：200903017905961816
センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275114
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】感知面が柔軟で、圧力変化に対し優れた感度と応答性を有し、しかもコンパクトな薄膜形状のセンサを安価に提供する。【解決手段】圧電積層体2が、裏面側に設けられた、支持スペーサ3と下地基材4とで構成される支持部材によって、0.1〜20mmの厚み分だけ持ち上げ保持されており、衝撃荷重に対しても安定した出力電圧が得られるようになっている。
請求項（抜粋）：
可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子が、上記圧電素子の裏面側に設けられた支持部材によって0.1〜20mmの厚み分だけ持ち上げ保持されていることを特徴とするセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 1/16 B
, H01L 41/08 U
