特許
J-GLOBAL ID:200903017907246294

X線センサーおよびX線検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-158749
公開番号(公開出願番号):特開平11-352231
出願日: 1998年06月08日
公開日(公表日): 1999年12月24日
要約:
【要約】【課題】 微量のX線を精度良く検出可能なX線センサーを得る。【解決手段】 その一面10aがX線11の照射を受けるように配置されたX線フォトリフラクティブ結晶10と、このX線フォトリフラクティブ結晶10の前記一面10a上に形成された金属膜12と、X線フォトリフラクティブ結晶10側から該結晶10と金属膜12との界面Fに測定光13を入射させる光源14と、前記界面Fで反射した測定光13の光量を検出する光検出器15とでX線センサーを構成する。
請求項(抜粋):
その一面がX線照射を受けるように配置されたX線フォトリフラクティブ結晶と、このX線フォトリフラクティブ結晶の前記一面上に形成された金属膜と、前記X線フォトリフラクティブ結晶側から該結晶と金属膜との界面に測定光を入射させる光源と、前記界面で全反射した前記測定光の光量を検出する光検出器とを備えてなるX線センサー。
IPC (3件):
G01T 1/16 ,  G01T 1/00 ,  G01N 21/27
FI (3件):
G01T 1/16 B ,  G01T 1/00 Z ,  G01N 21/27 C
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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