特許
J-GLOBAL ID：200903017910595470
動圧空気軸受型光偏向器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 榮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230056
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 動圧空気軸受型光偏向器に使用される動圧軸受の形状及び加工工程に改良を加えると共に、回転部がスラスト方向へ変位する際に、回転部の変位を容易に調整する。【構成】 中空回転軸(2)と固定軸(1)との間に、動圧発生用ラジアル軸受機構(9)を形成した動圧空気軸受型光偏向器の回転部のスラスト方向の変位を調整するために、内部圧力が回転部の変位に伴って変化する空気室(6)と回転部と固定部との当接部分に衝撃吸収部材(7a〜7d)を配置した。
請求項（抜粋）：
中空回転軸内周と固定軸外周との間に僅かな隙間を設け、中空回転軸が回転することにより前記隙間に動圧を発生させるラジアル軸受機構を具えた動圧空気軸受型光偏向器において、固定軸外周形状を等径多円弧形状あるいは等径歪円形状となし、回転部がスラスト方向に変位することに伴って内部圧力を変化せしめる空気室を設けたたことを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。
IPC (2件)：
G02B 26/10 102
, F16C 17/02
