窒化珪素質焼結体及びその製法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073287
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287065
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素と、周期律表第3a族元素酸化物および酸化珪素を含み、且つSiO2 /RE2 O3 モル比率が2.0以上の組成からなる成形体を非酸化性雰囲気中で焼成した後、焼結体の粒界に生成しているガラスの融点の絶対温度の0.5倍(Tm/2)の温度から、RE2 Si2 O7 (RE:周期律表第3a族元素)結晶がy型からβ型へ転移する相転移温度Ttとの間で一旦保持した後、前記相転移温度Ttから粒界相の融点温度の間で保持し、窒化珪素結晶の粒界にSi2 N2 OやRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)の結晶相が平均粒径が0.3μm以下の結晶として析出した焼結体を得る。【効果】室温から高温、特に1500°Cまでの強度劣化が小さく、優れた耐酸化性を有する窒化珪素質焼結体を製造することができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主相として、その粒界にSi2 N2 Oおよび/またはRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)結晶が主結晶相として析出してなる窒化珪素質焼結体であって、前記粒界に析出した結晶が多結晶質からなり、且つ該結晶の平均粒径が0.3μm以下であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。

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