特許
J-GLOBAL ID：200903017919364195
高周波数水晶振動子を用いた超微量質量の検出装置及びその校正方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-119301
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304945
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【目的】 重さセンサー、化学センサー、免疫センサー、粘度センサーや膜厚計などの、水晶振動子への微量質量付着による直列共振点の変化を検出する装置を高精度とし、また、その検出装置を高精度で校正できる校正方法を得る。【構成】 従来の振動子に仕べて、著しく高い基本周波数を持つ水晶振動子及び同水晶振動子の倍音を用いることにより検出精度が向上し、超微量質量を検出することができると共に、これをインピーダンスアナライザを用いて直列共振点の変化を検出することにより、前記のようなものの質量付加に対する共振点変化を厳密に測定することができる。また、水晶振動子にプラズマ重合法を用いてプラズマ重合膜を所定時間被覆し、被覆されたプラズマ重合膜の質量を検出して、水晶振動子への所定量の質量付加と検出質量とを比較することによりその検出装置の厳密な校正を行う。それにより、より高精度の検出装置が得られる。
請求項（抜粋）：
高い基本周波数をもつ水晶振動子及び同水晶振動子の倍音を用い、同水晶振動子の基本振動数、及び高次副振動数の直列共振点の変化をインピーダンスアナライザを用いて検出し、水晶振動子に付加した質量に対する共振点の変化を測定することを特徴とする高周波数水晶振動子を用いた超微量質量の検出装置。
IPC (3件)：
G01G 3/16
, G01G 23/01
, G01N 5/02
G01G 3/16
, G01G 23/01 Z
, G01N 5/02 A
