特許

J-GLOBAL ID：200903017922635000

ダイヤモンド上の窒化ガリウム発光デバイス

発明者： リネアス,ロバート,シー.
出願人/特許権者： アポロ ダイヤモンド,インク
代理人 (2件)： 大菅 義之 ,  ▲徳▼永 民雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-552409
公開番号（公開出願番号）：特表2008-528420
出願日： 2006年01月26日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：

白熱灯および蛍光灯の代用品としての発光ダイオードなどのためにダイヤモンド基板上に窒化ガリウムデバイスを形成する。一つの実施形態として、少なくとも2つの方法でダイヤモンド上に窒化ガリウムダイオード(もしくは他のデバイス)を形成する。第1の方法は、ダイヤモンド上に窒化ガリウムを成長させ、その窒化ガリウム層にデバイスを設けることを含んでいる。第2の方法は、ダイヤモンド上に窒化ガリウム(デバイスもしくはフィルム)を接合し、接合した窒化ガリウム上にデバイスを設けることをともなっている。これらのデバイスは、白熱光や蛍光よりもかなり効率がよく、他の技術よりも光密度もしくはエネルギー密度がかなり高い。同様の方法および同様の構造により他の窒化ガリウム半導体デバイスをつくることができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

最上面のコンプライアント(compliant)層を形成するためにダイヤモンド基板内にH2を注入するステップと、 前記H2を注入したダイヤモンド基板上にGaN層を成長させるステップと、 を含むことを特徴とする方法。

IPC (9件)：

C30B 29/38 ,  C30B 25/18 ,  C30B 29/04 ,  C23C 16/34 ,  C23C 14/48 ,  C01B 31/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 33/00 ,  H01L 21/20

FI (9件)：

C30B29/38 D ,  C30B25/18 ,  C30B29/04 W ,  C23C16/34 ,  C23C14/48 A ,  C01B31/06 Z ,  H01L21/205 ,  H01L33/00 C ,  H01L21/20

Fターム (108件)：

4G077AA03 ,  4G077BE15 ,  4G077CG01 ,  4G077DA05 ,  4G077DB05 ,  4G077DB08 ,  4G077DB18 ,  4G077DB19 ,  4G077DB25 ,  4G077EB10 ,  4G077ED06 ,  4G077EE08 ,  4G077EF01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077HA14 ,  4G077HA15 ,  4G077QA01 ,  4G077QA27 ,  4G077QA71 ,  4G077QA75 ,  4G077SA04 ,  4G077SC02 ,  4G077TA04 ,  4G077TB03 ,  4G077TB05 ,  4G077TB07 ,  4G077TB08 ,  4G077TC14 ,  4G077TC16 ,  4G077TC19 ,  4G077TE02 ,  4G077TK02 ,  4G146AA04 ,  4G146AB07 ,  4G146AD20 ,  4G146AD30 ,  4G146BA01 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA31 ,  4K029BA58 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA02 ,  4K029CA10 ,  4K030AA03 ,  4K030AA08 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030BA08 ,  4K030BA27 ,  4K030BA38 ,  4K030BA39 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030HA02 ,  4K030LA18 ,  5F041AA04 ,  5F041AA47 ,  5F041CA03 ,  5F041CA33 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA49 ,  5F041CA57 ,  5F041CA63 ,  5F041CA65 ,  5F041CA66 ,  5F041CA74 ,  5F041CA77 ,  5F041FF11 ,  5F045AA01 ,  5F045AA03 ,  5F045AA04 ,  5F045AA15 ,  5F045AB07 ,  5F045AB14 ,  5F045AB15 ,  5F045AC01 ,  5F045AC03 ,  5F045AC07 ,  5F045AC12 ,  5F045AF02 ,  5F045DA53 ,  5F152LL03 ,  5F152LL05 ,  5F152LL09 ,  5F152LL13 ,  5F152LM09 ,  5F152LN02 ,  5F152LP02 ,  5F152MM01 ,  5F152MM02 ,  5F152MM03 ,  5F152MM09 ,  5F152MM10 ,  5F152NN02 ,  5F152NN22 ,  5F152NQ02 ,  5F152NQ03 ,  5F152NQ04 ,  5F152NQ05 ,  5F152NQ06 ,  5F152NQ09