粗い表面を有するシリカガラスおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259636
公開番号（公開出願番号）：特開平8-104541
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【構成】マイクロクラックがなく表面粗さRmaxが20〜100μmであるシリカガラス、およびシリカガラス表面に硬質粉状物を吹き付けて表面粗さRmaxを5〜50μmとしたのち、フッ酸溶液で処理する前記シリカガラスの製造方法。【効果】本発明のシリカガラスはマイクロクラックの発生がなく、良好な粗い表面を有しており赤外線の散乱反射がよく、かつ表面が安定している。そのため本発明のシリカガラスで作成した電気炉は熱効率が良く、またシリコンウエーハ熱処理用の炉芯管やボートはそれに付着した酸化膜等による治具のヒビ割れがなく半導体工業用治具材料として好適なものであった。

請求項（抜粋）：