特許
J-GLOBAL ID：200903017943979796
紫外線検知素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308410
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129648
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 シリコン超微粒子結晶体が紫外線によるホトルミネツセンス効果により赤色光を発光することを利用して紫外線の検出感度を向上させる。【構成】 赤色光に対して高い感度を有するシリコン光検知素子6の上部に、紫外線によるホトルミネツセンス効果により赤色光を発するシリコン超微粒子結晶体20を形成する。そして、紫外線22の入射によってシリコン超微粒子結晶体20から発せられる赤色光24をシリコン光検知素子6により検出することにより、紫外線の入射を間接的に検知する。
請求項（抜粋）：
紫外線によって発光するシリコン超微粒子結晶体と、前記シリコン超微粒子結晶体からの発光を感知するシリコン光検知素子とを備えるように構成したことを特徴とする紫外線検知素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 31/10 A
, H01L 31/00 A
