特許
J-GLOBAL ID：200903017948899464
ノズルプレートの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 智司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141240
公開番号（公開出願番号）：特開平11-334084
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】凹溝を短時間に形成することができるノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】表裏に貫通したインク噴射用ノズル孔列の少なくとも1列を備えるとともに、インク噴射側表面の各ノズル孔列を単独列若しくは複数列で含む領域に凹溝を備えたノズルプレートを製造する方法である。凹溝の開口形状に対応した開口部1aを有するエッチングマスク1を、開口部1aが前記領域と対応するようにインク噴出側表面に設け、しかる後ドライエッチングによりインク噴射側表面をエッチングして凹溝を形成する。複数個のノズルプレート分の凹溝を同時に形成することができ、短時間で凹溝を加工することができる。
請求項（抜粋）：
表裏に貫通したインク噴射用ノズル孔列の少なくとも1列を備えるとともに、インク噴射側表面の前記各ノズル孔列を単独列若しくは複数列で含む領域に凹溝を備えたノズルプレートを製造する方法であって、前記凹溝の開口形状に対応した開口部を有するエッチングマスクを、該開口部が前記領域と対応するように前記インク噴出側表面に設け、しかる後ドライエッチングにより前記インク噴射側表面をエッチングして前記凹溝を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
引用特許：
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