特許

J-GLOBAL ID：200903017950724574

コンタクト装置及びこれを備えたコンタクトプローブ

発明者： 増田 昭裕 ,  杉山 達雄 ,  三島 昭史
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108299
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311057
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 測定対象物とのコンタクトを可能にするとともに、コンタクト不良が生じても容易、且つ迅速に対処する。【解決手段】 測定対象物2に導通状態で接続される導通接続部4aを有する。測定対象物2の接触面2aと導通接続部4aとにそれぞれ当接してこれらを導通させるコンタクト装置Cを着脱自在に配設する。コンタクト装置Cに接触面2aと略平行に形成され、導通接続部4aと当接する平面部12を設ける。

請求項（抜粋）：

測定対象物(2)に導通状態で接続される導通接続部(4a)を有するコンタクトプローブ(1)であって、前記測定対象物(2)の接触面(2a)と前記導通接続部(4a)とにそれぞれ当接してこれらを導通させるコンタクト装置(C)が着脱自在に配設され、前記コンタクト装置には、前記接触面(2a)と略平行に形成され、前記導通接続部(4a)と当接する平面部(12)が設けられることを特徴とするコンタクトプローブ(1)。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 F ,  G01R 1/06 A ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (20件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G011AA15 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD06 ,  4M106DD18

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-207543
  
• 半導体装置評価用プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-341677   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-120474
  
• 特開平2-207543
  
• 特開平3-120474