特許

J-GLOBAL ID：200903017951419392

薬液噴射装置

発明者： 新山 喜三郎 ,  菅原 清司
出願人/特許権者： 東京化工機株式会社
代理人 (1件)： 合志 元延
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275454
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096208
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】 第1に、薄板材の腰折れが防止され、第2に、液溜まりも回避され、第3に、スムーズな搬送が確保され、第4に、噴射圧や噴射量の規制が緩和され、第5に、化学処理・薬液処理のスピード,速度効率が向上する、薬液噴射装置を提案する。更に第6に、噴射された薬液の濃淡箇所発生が回避され、第7に、薬液の偏在,片寄り,滞留,液溜まり,混在した流れ発生、等も回避され、第8に、薬液が精度高く均一に噴射されるようになる、薬液噴射装置を提案する。【解決手段】 この薬液噴射装置6では、曲線波状や折れ線波状に一定ピッチで前後に折曲形成されたスリット状噴射口7を、左右の幅方向に配設し、もって薬液を、搬送される薄板材に縦の幕状に噴射する。更に、各薬液噴射装置6について、スリット状噴射口7の折曲ピッチを左右にずらしたり、噴射角度を変更可能とし、更にブリッジ部やフィルターやスリット幅微調整機構、等を配してなる。

請求項（抜粋）：

搬送される薄板材に対し薬液を噴射して化学処理を行う薬液噴射装置であって、スリット状噴射口を備えてなり、該スリット状噴射口は、搬送される該薄板材に対し、前後の搬送方向ではなく左右の幅方向をカバーすべく対向配設され、該薬液を、該薄板材の外表面に向け縦の幕状に噴射すると共に、該スリット状噴射口は、直線状をなさず、一定ピッチで前後に折曲形成されており、該薬液を前後に曲げられた幕状に噴射すること、を特徴とする薬液噴射装置。

IPC (6件)：

B05B 13/02 ,  B05C 5/00 101 ,  C23F 1/08 103 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (6件)：

B05B 13/02 ,  B05C 5/00 101 ,  C23F 1/08 103 ,  G03F 7/30 501 ,  H05K 3/06 Q ,  H01L 21/30 569 A

Fターム (27件)：

2H096AA00 ,  2H096AA26 ,  2H096GA21 ,  2H096HA19 ,  2H096HA20 ,  2H096LA02 ,  2H096LA03 ,  4F035AA04 ,  4F035BC06 ,  4F035CB13 ,  4F035CC02 ,  4F035CD03 ,  4F041AA02 ,  4F041AA06 ,  4F041BA12 ,  4F041BA15 ,  4K057WA11 ,  4K057WB04 ,  4K057WM06 ,  4K057WM09 ,  4K057WM20 ,  4K057WN01 ,  5E339AD03 ,  5E339BE13 ,  5E339BE16 ,  5F046LA04 ,  5F046MA10