変位測定装置および変位測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201722
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】変位測定装置を構造が簡素化でき、低コスト、小型化で、耐環境正に優れたものとする。【解決手段】 FM変調されたレーザ光を変位測定対象物体Sに照射し、その反射光と参照物体Mからの反射光を変位サンプル手段2の信号検出増幅部21により検出する。変位サンプル手段2において変位測定対象物体Sの表面と参照物体Mの表面とで構成される外部光学共振器から発生するモードホップ信号が検出され、レーザ変調電流の上昇期間と下降期間のモードホップパルス数とそれらの差ΔNを得る。変位波形検出手段3において、ΔNを時間積分して、ハイパスディジタル処理を施して、誤差累積信号を除去し、変位波形信号を抽出する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を用いて変位検出対象物体の変位を測定する変位測定装置であって、周期性上下同量変動波形によって変調されたレーザ変調電流に応じたレーザ光を出射するレーザ光出力手段と、前記レーザ光出力手段から出射したレーザ光の光路上に設けられ、レーザ光出力手段からのレーザ光を一部反射する参照物体と、変位検出対象物体からの反射光と参照物体からの反射光とが干渉した干渉光を受光し、当該干渉光よりモードホップ信号を検出し、前記レーザ変調電流1周期内のレーザ変調電流の上昇期間のモードホップの数とレーザ変調電流の下降期間のモードホップの数をそれぞれ計数し、レーザ変調電流1周期毎に前記レーザ変調電流の上昇期間と下降期間のモードホップの数の差を求め、当該モードホップの数の差を出力する変位サンプル手段と、前記変位サンプル手段で求めたレーザ変調電流1周期毎の前記レーザ変調電流の上昇期間と下降期間のモードホップの数の差を時間的にディジタル積分してディジタル積分信号を求め、該ディジタル積分信号から振動周波数より低い周波数特性を有する誤差累積信号を除去した変位波形を出力する変位波形検出手段とから構成されることを特徴とする変位測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 9/02 , G01H 9/00

FI (3件)：

G01B 11/00 G , G01B 9/02 , G01H 9/00 C

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