特許
J-GLOBAL ID：200903017976248355
センサ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-303610
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142008
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 計測雰囲気中におけるセンサ素子の位置決め精度を向上させると共に、計測時における計測雰囲気の乱れを防止し計測精度を向上させる。【構成】 基板1に、流量センサチップ2が装着される凹部3を、該凹部3の深さを流量センサチップ2の厚さに設定し、該凹部3の両対角線と基板1の各縁辺部とが平行及び直角状態となるように形成する。これにより、基板1の凹部3に装着した流量センサチップ2を備えた流量センサ6を流体通路部15へ装着した際、流量センサチップ2を計測対象流体の流れ方向に対し、流量の計測精度が良好な所定位置へ位置決めすることができる。
請求項（抜粋）：
物理量を計測する半導体センサ素子を基板上に備え、計測雰囲気中に方向性を有して配置するようにしたセンサ装置であって、計測雰囲気中に方向性を有して配置される基板と、該基板上に配設され前記半導体センサ素子の隣接する2辺を該基板上に対して位置決めする位置決め部とを具備することを特徴とするセンサ装置。
IPC (4件)：
G01F 1/68
, G01F 1/00
, G01F 15/18
, G01P 5/10
