特許

J-GLOBAL ID：200903017977371436

多方向観察装置

発明者： 高橋 進
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (2件)： 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-322335
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133502
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】 簡易な構成で同一の観察対象物を光路長の異なる複数の方向から簡易に観察可能とする。【解決手段】 観察対象物Wに照明光を照射する照明装置と、観察対象物Wからの反射光を撮像する撮像手段3と、該撮像手段3と観察対象物Wとの間に異なる方向から観察対象物Wを観察するための光路長の異なる光路を形成する複数の光路設定部材5と、各光路上の焦点位置の像を撮像手段3に結像させる結像光学系4と、光路設定部材5を選択的に観察対象物Wと結像光学系4との間に挿脱可能な切替機構6とを備え、光路設定部材5に、複数の光路の空気換算長を一致させる焦点位置補正手段が備えられている多方向観察装置1を提供する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

観察対象物に照明光を照射する照明装置と、 観察対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、 該撮像手段と観察対象物との間に異なる方向から観察対象物を観察するための光路長の異なる光路を形成する複数の光路設定部材と、 前記各光路上の焦点位置の像を前記撮像手段に結像させる結像光学系と、 前記光路設定部材を選択的に観察対象物と結像光学系との間に挿脱可能な切替機構とを備え、 前記光路設定部材に、前記複数の光路の空気換算長を一致させる焦点位置補正手段が備えられている多方向観察装置。

IPC (4件)：

G02B 21/36 ,  G02B 21/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B21/36 ,  G02B21/00 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516A

Fターム (11件)：

2H052AB06 ,  2H052AB25 ,  2H052AB29 ,  2H052AC00 ,  2H052AD02 ,  2H052AD06 ,  2H052AD32 ,  2H052AF14 ,  2H097BA01 ,  5F046CB23 ,  5F046DA14