特許

J-GLOBAL ID：200903017985032217

感光性組成物

発明者： 左々 信正 ,  秋山 健夫
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016550
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230569
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 高感度で貯蔵安定性のよい感光性組成物の提供。【構成】 特定のビスアクリジニウム塩の少なくとも一つを含有することを特徴とする感光性組成物。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される化合物の少なくとも一つを含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】式中、R1は置換又は無置換のアルキル基、アルケニル基、アリール基又はアラルキル基を表し、R3、R4は、それぞれ同じか又は異なってもよく水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基又はハロゲン原子を表す。R2はアルキレン基、オキサジアルキレン基、又はチオジアルキレン基を表し、Xはアニオンを表す。

IPC (4件)：

G03F 7/031 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027