特許
J-GLOBAL ID：200903017986307015
電気機械信号選択素子、その製造方法およびそれを用いた電気機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高松 猛
, 市川 利光
, 橋本 公秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-180879
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005909
出願日： 2005年06月21日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】 小型化、高集積化が可能で、高感度な信号検出が可能な電気機械信号選択素子を提供する。 【解決手段】 入力信号に対して共振可能な微小振動子101と、前記微小振動子と所定の間隔を隔てて配設された励振電極102、検出電極103を備え、前記微小振動子と前記検出電極との間の静電容量の変化を検出することにより、前記微小振動子の機械的共振を電気信号として出力する電気機械信号選択素子であって、前記微小振動子と前記励振電極、前記検出電極間の微小ギャップ形成において、犠牲層を液化し除去することを特徴とする。微小振動子と励振電極、検出電極間の微小ギャップ形成において、「犠牲層を液化し除去する」、また「犠牲層をイオン化し移動させ除去する」ことにより、微細でかつ高感度の検出を実現する。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
入力信号に対して励振可能な微小振動子と、前記微小振動子と所定の微小ギャップを隔てて配設された電極とを備え、前記微小振動子と前記電極との間の静電容量の変化に基づいて、前記微小振動子の機械的共振を電気信号として出力する電気機械信号選択素子であって、
前記微小振動子と前記励電極との間の微小ギャップが、電界による状態変化に起因して易移動性を持つ材料で構成された犠牲層を、除去することによって形成されることによって形成された電気機械信号選択素子。
IPC (4件)：
H03H 9/24
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H03H 3/007
H03H9/24 Z
, B81B3/00
, B81C1/00
, H03H3/007 M
