特許

J-GLOBAL ID：200903017988570031

圧力センサ及びその製造方法

発明者： 矢島 孝志
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092635
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281086
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤフラムが破損し難いようにする。【解決手段】 圧力を受けて撓み得るダイヤフラム1aを有したセンサチップ1と、ダイヤフラム1aへ向かって圧力を導入する圧力導入孔4aと、を備えた圧力センサにおいて、気体を通過させるが液体を通過させない程度の孔部を有したフィルタ9を圧力導入孔4を閉塞するようにして設けた構成にしている。

請求項（抜粋）：

圧力を受けて撓み得るダイヤフラムを有したセンサチップと、ダイヤフラムへ向かって圧力を導入する圧力導入孔と、を備えた圧力センサにおいて、気体を通過させるが液体を通過させない程度の孔部を有したフィルタを前記圧力導入孔を閉塞するようにして設けたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 19/06 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 19/06 Z ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 B

Fターム (14件)：

2F055AA05 ,  2F055BB19 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF38 ,  2F055GG11 ,  2F055HH09 ,  2F055HH11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA16 ,  4M112EA03 ,  4M112FA08