特許
J-GLOBAL ID：200903017996916087
荷電粒子線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015926
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211053
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】デバイス断面観察において、高品位画像を自動調整により実現する。【構成】荷電粒子線を集束して試料上を走査し、試料から放出される二次粒子の強度を走査と同期して検出することにより顕微鏡像を得る荷電粒子線装置に、ビームの走査領域を複数個に分割し、それぞれの領域から発生する二次荷電粒子信号に重み付けを行って自動調整の帰還信号とし、画像のコントラストとブライトネスの少なくとも一方を調整する画質自動調整機能を持たせる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を集束して試料上を走査し、試料から放出される二次粒子の強度を走査と同期して検出することにより顕微鏡画像を得る荷電粒子線装置であって、ビームの走査領域を複数個に分割し、それぞれの領域から発生する二次荷電粒子信号に重み付けを行った信号を、該画像のコントラストとブライトネスの少なくとも一方を調整する自動調整の帰還信号として用いた画質自動調整機能を有したことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
