特許
J-GLOBAL ID：200903017999546132
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203785
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029589
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 固体撮像素子の小型化および高画素化に伴うスミア特性の劣化を、目合わせ工程の増加なしに改善する。【構成】 遮光膜を上層のAl遮光膜110と下層のW遮光膜109との2層構造とし、上層のAl遮光膜の開口部端は、下層のW遮光膜の開口部端よりも後退した構造とする。この構造の遮光膜は、W膜とAl膜とを被着し、フォトレジストをマスクとして異方性エッチングで両膜を同じ形状に形成した後、Al膜をサイドエッチしてその開口部端を後退させることによって形成される。
請求項（抜粋）：
入射光を光電変換する複数の光電変換部と、前記光電変換部上に開口部を有する金属遮光膜と、を具備する固体撮像素子において、前記金属遮光膜は上層の低融点金属膜と下層の高融点金属膜または高融点金属化合物膜との2層膜から構成されかつ上層の低融点金属膜の開口部端は、下層の高融点金属膜または高融点金属化合物膜の開口部端から所定の距離後退していることを特徴とする固体撮像素子。
引用特許：
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