特許
J-GLOBAL ID：200903018005740454
移動テーブル駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-132593
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323202
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 移動テーブル駆動装置において、圧電素子に印加する単一波形電圧信号の信号波形や間欠時間を試料の移動指示情報に応じて変更することにより、試料の高速な移動、高精度な移動を実現する。【構成】 ジョイスティック20からの移動指示情報は、A/Dコンバータ21、22を経てマイコン23に入力される。マイコン23は、単一波形データを読み出して、その単一波形データに対し、X移動指示信号およびY移動指示信号に応じた変更を加え、D/Aコンバータ24、25、非反転増幅器26、28、反転増幅器27、29を介して移動テーブル14に出力する。移動テーブル14は、圧電素子2の外周面に周方向に4分割された電極が形成され、それら電極のX方向に対向する2つに+X駆動信号および-X駆動信号を印加し、Y方向に対向する2つに+Y駆動信号および-Y駆動信号を印加して圧電素子2をX方向およびY方向に変形させる。
請求項（抜粋）：
一端が基盤に固定された少なくとも1つの圧電素子と、この圧電素子の他端に結合された載物台と、前記圧電素子に一周期分の単一波形電圧信号または間欠的に連続する複数周期分の単一波形電圧信号を印加する駆動信号出力手段とを具え、前記単一波形電圧信号を印加したときの前記圧電素子の変形により前記載物台を駆動して該載物台上の試料を圧電素子変形方向に微少量移動させる、移動テーブル駆動装置において、前記圧電素子に印加する単一波形電圧信号の信号波形、間欠時間の少なくとも一方を、前記載物台の2次元平面上における試料の移動前後の座標に基づく移動指示情報に応じて変更する、駆動信号変更手段を設けたことを特徴とする、移動テーブル駆動装置。
IPC (2件)：
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