特許

J-GLOBAL ID：200903018008666620

無機/有機フィルムを堆積させる方法

発明者： リンデン, ヨアネス, レオナルド ,  アルコット, グレゴリー, ロベルト ,  ハメルス, エドワルド, アロイス, ジェラルド ,  ヴァン デ サンデン, マウリティウス, コルネリス, マリア
出願人/特許権者： ネーデルランドセ オルガニサティエ フォール トエゲパストナトールヴェテンシャッペリク オンデルゾエク ティエヌオー ,  テクニシェ ユニベルシテイト アイントホーフェン
代理人 (1件)： 松井 光夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566274
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517089
出願日： 2003年01月17日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

基体にハイブリッド コーティングを施与する方法を提供する。コーティングは、無機成分と有機成分により形成される。その結果、コーティングはハイブリッド性を有し、それによって、硬さと可撓性が組合わされる利点がある。 ハイブリッドコーティングを作る装置をも提供する。

請求項（抜粋）：

基体にハイブリッドコーティングを施与する方法であって、コーティングは無機成分および有機成分を含み、その無機成分はナノ粒子を含み、これらの成分のための前駆体は、化学蒸気相のプラズマ活性化堆積のための1つ以上のプラズマ源において活性化され、該活性化された前駆体は、それらがコーティングを形成するための化学蒸気相から基体上に堆積される前に一緒にされる方法。

IPC (1件)：

C23C16/452

FI (1件)：

C23C16/452

Fターム (15件)：

4K030AA05 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA02 ,  4K030FA04 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA18 ,  4K030KA20