特許
J-GLOBAL ID:200903018009189370

界面の計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-010473
公開番号(公開出願番号):特開平6-221995
出願日: 1993年01月26日
公開日(公表日): 1994年08月12日
要約:
【要約】【目的】潤滑界面での分子挙動の赤外分析計測を、試料や測定条件を限定することなく行う。【構成】顕微赤外分析装置6および赤外対物レンズ5により、球状面付きディスク窓2と円盤状試料1の接触界面に赤外光を入射し反射光を分光して界面での界面での状態や分子挙動を計測する。さらに、表面性状制御・評価手段7により円盤状試料1の表面性状を変化させたときの界面状態の変化を計測・評価する。【効果】ディスク窓の一面を球状面としたので、円盤状や薄膜状などさまざまな形状の試料について計測が可能であり、また球状面部分の曲率半径を変えるだけで計測条件を変更できるので、試料や測定条件が制限されない。
請求項(抜粋):
光学的計測手段を用いた界面の光学的計測方法において、前記光学的計測手段が測定可能な波長領域では透過性を有し少なくとも一部に凸状の球状面の部分を有するディスク状窓と、当該波長領域で反射性を持つ試料を接触させ、前記ディスク状窓の球状面と前記試料との接触界面を前記光学的計測手段で計測可能に配置し、前記試料を前記ディスク状窓の球状面に対して接触状態を一定に保ったままで相対的に移動させながら前記接触界面での状態を光学的計測手段で計測することを特徴とする界面の光学的計測方法。
IPC (3件):
G01N 21/27 ,  G01N 21/35 ,  G02B 21/00

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