特許

J-GLOBAL ID：200903018019508988

表面近接型光センサヘッド

発明者： 大久保 俊文 ,  田中 健二 ,  廣田 輝直 ,  保坂 寛 ,  板生 清 ,  大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  中島 邦雄
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社 ,  大久保 俊文 ,  田中 健二 ,  廣田 輝直 ,  保坂 寛 ,  板生 清
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-202023
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025102
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 再生信号強度が十分高くかつ再生分解能にも優れた表面近接型光センサヘッドを提供すること。【解決手段】 本発明は、金属遮光膜12に形成される波長以下の開口と、該開口にレーザ光を集光する手段と、該開口の内部に形成された金属散乱体16と、該金属散乱体16からの散乱光を集光・検出する手段とからなる。このような構成によって、金属散乱体により開口に集中される光の場を格段に増強できる。

請求項（抜粋）：

金属遮光膜に形成される波長以下の開口と、該開口にレーザ光を集光する手段と、該開口の内部に形成された金属散乱体と、該金属散乱体からの散乱光を集光・検出する手段とからなる表面近接型光センサヘッド。

IPC (7件)：

G11B 7/135 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/14 ,  G11B 7/125 ,  G11B 7/22 ,  G11B 11/105 566 ,  G12B 21/06

FI (8件)：

G11B 7/135 Z ,  G11B 7/135 A ,  G01N 13/10 G ,  G01N 13/14 B ,  G11B 7/125 A ,  G11B 7/22 ,  G11B 11/105 566 C ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (9件)：

5D075CD06 ,  5D075CD14 ,  5D119AA11 ,  5D119BA01 ,  5D119CA06 ,  5D119FA02 ,  5D119JA34 ,  5D119MA06 ,  5D119NA00