特許

J-GLOBAL ID：200903018025756586

櫛型キャパシタ

発明者： 藤島 実
出願人/特許権者： 株式会社グリニクス
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-097041
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297930
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 高密度のキャパシタンスを有し、寄生インダクタンスを低減した櫛型キャパシタを提供する。【解決手段】 第1の電極と、第1の電極に接続されて、第1の電極の長手方向の垂直方向に延在し、第1の電極と櫛形状を構成する複数の第1の櫛配線と、第1の櫛配線と同じ平面で、第1の櫛配線の間に交互に配置される複数の第2の櫛配線と、第1の電極の近傍側の、複数の第2の櫛配線のそれぞれの端部に接続する第2の電極とを具備する。

請求項（抜粋）：

第1の電極と、前記第1の電極に接続されて、前記第1の電極の長手方向の垂直方向に延在し、前記第1の電極と櫛形状を構成する複数の第1の櫛配線と、前記第1の櫛配線と同じ平面で、前記第1の櫛配線の間に交互に配置される複数の第2の櫛配線と、前記第1の電極の近傍側の、前記複数の第2の櫛配線のそれぞれの端部に接続する第2の電極とを具備することを特徴とする櫛型キャパシタ。

IPC (2件)：

H01L 21/822 ,  H01L 27/04

Fターム (7件)：

5F038AC04 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038AZ06 ,  5F038EZ10 ,  5F038EZ20