特許

J-GLOBAL ID：200903018031383023

湿度センサ

発明者： 三田 浩之
出願人/特許権者： グローリー工業株式会社
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-161212
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003312
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、測定精度の高い、耐久性に優れた湿度センサを提供することを目的とする。【構成】 本発明の湿度センサでは、基板1表面に、湿度を検出する湿度検出部4と、この湿度検出部4の周辺温度を検出する第1の温度検出部3を配設するとともに、さらに前記基板1表面に、これら湿度検出部4及び第1の温度検出部3を囲むようにヒーター2を配設する。そして、検出すべき環境の湿度変化に応じて、前記ヒーター2の加熱温度を制御する温度制御部6を配設することにより、湿度検出部4及び第1の温度検出部3の周辺の加熱温度を制御しながら測定し、湿度検出部4の出力を第1の温度検出部3の出力及び環境温度を検出する第2の温度検出部5の出力とに基づいて換算し、測定すべき環境の湿度を検出するようにしている。

請求項（抜粋）：

基板表面に配設され、湿度を検出する湿度検出手段と、前記湿度検出手段に近接して前記基板表面上に配設され、前記湿度検出手段の周辺温度を検出する第1の温度検出手段と、前記湿度検出手段の周辺を局所的に所定温度に加熱する加熱手段と、環境温度を検出する第2の温度検出手段と、検出すべき環境の湿度変化に応じて、前記加熱手段の加熱温度を制御し、環境状態が多湿になったとき加熱温度を高めるように構成された温度制御手段とを具備し、前記湿度検出手段の出力を前記第1の温度検出手段の出力と、前記第2の温度検出手段の出力とに基づいて換算し、測定すべき環境の湿度を測定するようにしたことを特徴とする湿度センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-118547
  
• 特開昭54-094090
  
• 特開昭60-046457
  
• 特開昭53-043942