特許
J-GLOBAL ID：200903018035064879
マイクロレンズに対するレーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282362
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128563
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズの一面側に光ファイバー等を嵌合する穴を正確且つ簡単な作業で形成する。【解決手段】 マイクロレンズに対し一面側からレーザ光を照射する。すると、レーザ光はレーザ吸収性に優れた層において集光し、レーザ吸収性に優れた層において溶融、蒸発若しくはアブレーションを発生するための閾値を超えるため、穴が形成される。
請求項（抜粋）：
一端面から入射した平行光を他端面でほぼ集光させるような径方向に屈折率分布を有するロッド状のマイクロレンズに対し、集光した状態でマイクロレンズを構成するガラス基材を溶融・蒸発若しくはアブレーションさせる閾値以上の強度を有するレーザ光を、前記ロッド状のマイクロレンズの一端面から入射せしめ、他端面の光軸上にレーザ光を集光させ、溶融・蒸発若しくはアブレーションによって当該他端面の光軸上に穴を形成するようにしたことを特徴とするマイクロレンズに対するレーザ加工方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B23K 26/00 G
, G02B 3/00 A
, G02B 3/00 B
