ウェハー輸送用のウェハークッション

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-261093
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133406
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハーを安全に貯蔵し輸送するための装置を提供する。【解決手段】半導体ウェハーWを貯蔵し輸送するための装置は上部及び底部が開口したキャリヤ16と、これらの開口した上部及び底部を覆うための屈曲可能な上部カバー17及び底部カバー18とを有する。上部カバー17と底部カバー18にはウェハー係合部材がそれぞれ設けられていて、ウェハーWはこれらのウェハー係合部材間に懸架状態で支持される。

請求項（抜粋）：

ウェハー等のための容器であって、a)当該容器は二つの側壁と二つの端壁と、該側壁及び端壁に取り付けられて内部ウェハー収容部分を形成する底壁と、前記二つの側壁と二つの端壁へシール状態で取り付けられて、ウェハーが受容される内部ウェハー収容部分へアクセスできるようにしている取り外し可能な上部カバーとを有し、前記側壁の各々にウェハーサポートを有し、このウェハーサポートが、ウェハーを離間した状態で軸方向に整列保持するように配置されており、b)前記上部カバーがウェハー収容部分の中にウェハーを入れた状態で上部カバーを側壁及び端壁へ取り付けたときに上部カバーが外側へ屈曲するように、弾性的に屈曲可能な材料から形成されており、さらに、前記上部カバーが、各ウェハーと係合して上部カバーの外側への屈曲に適応するためのウェハークッション部材を有している、容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (27件)：

3E096AA09 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA09 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA05 , 3E096DA17 , 3E096DA23 , 3E096DB06 , 3E096DC04 , 3E096EA02X , 3E096FA09 , 3E096GA04 , 3E096GA07 , 3E096GA11 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031DA09 , 5F031EA06 , 5F031EA10 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031PA20 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭55-133533
特開昭60-173826
特開平3-114245

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