特許

J-GLOBAL ID：200903018047105198

洗浄部材のセルフクリーニング装置

発明者： 吉田 正夫 ,  阿藤 浩司 ,  及川 文利
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-150513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323631
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 セルフクリーニング装置自体を小さくでき、これによって洗浄装置全体の小型化が図れ、また洗浄される被洗浄物を容易に洗浄装置の中心位置に設定できる洗浄部材のセルフクリーニング装置を提供する。【解決手段】 半導体ウエハ(被洗浄物)Wの表面に当接してスクラブ洗浄するロール型洗浄部材10を支持するアーム20に、ロール型洗浄部材10の表面に当接してこれを洗浄するセルフクリーニングプレート30を取り付ける。ロール型洗浄部材10を半導体ウエハWに当接してスクラブ洗浄すると石英プレート31はロール型洗浄部材10から離れる。ロール型洗浄部材10を半導体ウエハWから離すと石英プレート31はロール型洗浄部材10に当接してロール型洗浄部材10のセルフクリーニングが行われる。

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に当接して洗浄する洗浄部材のセルフクリーニング装置において、前記セルフクリーニング装置は、前記洗浄部材を支持する支持部材に取り付けられることを特徴とする洗浄部材のセルフクリーニング装置。

IPC (3件)：

B08B 1/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B08B 1/00 ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 341 B