特許

J-GLOBAL ID：200903018048339702

塗布装置

発明者： 小林 史和 ,  古澤 俊範 ,  小寺 泰人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-096626
公開番号（公開出願番号）：特開2001-276709
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】【課題】 ダイコート法による塗布装置において、塗布開始位置における液溜まりやビードの発生を防止し、均一な膜厚の塗膜を形成する。【解決手段】 スリットを構成する2枚のブレード2a,2bの外壁側面部に、塗布液4との接触角が50°以上の樹脂被覆層3a,3bを形成し、スリット先端部の塗布液4との接触角は30°以下に構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも2枚のブレードにより形成されたスリットを有するダイを備え、該スリットより塗布液を押し出すと同時に、該ダイの下方に配置した基板を該ダイに対して相対的に平行移動させることにより、該基板上に上記塗布液からなる塗膜を形成する塗布装置であって、上記ブレードの先端部近傍の外壁側面部が塗布液との接触角が50°以上となるように表面処理されていることを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (15件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4F041AA02 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA05 ,  4F041BA12 ,  4F041BA17 ,  4F041BA57 ,  4F041CA02 ,  4F041CA23 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27