特許
J-GLOBAL ID：200903018049785587
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191930
公開番号（公開出願番号）：特開平7-018448
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 消費電力、特に電圧を低く抑えて設備の大型化を防止するとともに、電源の定格を共通化することができ、しかも、配線手順を規制することがない構造を備えた熱処理装置を提供すること。【構成】 発熱抵抗体30は、周方向若しくは縦方向で分割され、分割された一方の端部と他方の端部とを交互に結線し、これら結線部に取付けた端子30dを介して電源電極にそれぞれ接続されている。従って、発熱抵抗体30は電源32に対して並列接続されるとともに、隣接する端子間での電流の流れる方向を相反する方向に設定することができる。このため、発熱抵抗体の合成抵抗を非処理値の大きさに比例させることなく小さくさせることができ、しかも、端部での磁力の影響を相殺することができるので、発熱抵抗体の破損を未然に防止して消費電力の低減を図ることができる。
請求項（抜粋）：
縦方向に沿って複数の被処理体が配置される炉室を有し、その炉室の縦方向に沿って複数の加熱ゾーンが形成されている縦型プロセスチューブを備えた熱処理装置において、上記各ゾーン毎で同じ長さの線材が周方向で分割され、分割された端部が上記縦型プロセスチューブの周方向で隣接した状態で外部に取り出されている第1および第2の発熱抵抗体を備え、上記第1および第2の発熱抵抗体は、上記端部に流れる電流の向きが相反する方向を設定される配線が行なわれていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, H01L 21/22 511
, H01L 21/324
, H05B 3/64
