特許
J-GLOBAL ID：200903018053847503
レーザ光を用いる表面伝導型電子放出素子の製造装置及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-002710
公開番号（公開出願番号）：特開平9-192864
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 レーザ加工の位置の補正を容易に、かつ精度高く安定して行い得る表面伝導型電子放出素子の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 被加工物とレーザ光とを相対的に移動させ、被加工物の表面画像の取込み手段および識別手段並びに加工物の位置検出手段を具備し、さらに予め被加工物の位置情報を計測する工程を設けることにより、大面積基板での印加電極に対しても導電性膜の加工パターンのずれが生じない。
請求項（抜粋）：
被加工物とレーザ光とを相対移動させるレーザ加工装置であって、前記被加工物表面の画像情報を取り込む手段及び識別する手段、並びに被加工物の位置を検出する手段を具備したことを特徴とする、レーザ光を用いる表面伝導型電子放出素子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/02 A
, H01J 1/30 Z
