特許
J-GLOBAL ID：200903018054975050
外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
椎名 正利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350125
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166817
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 被検査体の外観の欠陥を検出する際に記憶容量を大きくせず、かつ迅速な検査が可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】 カメラ3により、最初に被検査体2の全体の画像を取り込む。画像処理装置5による画像処理により、被検査体2の外観に欠陥の疑いのある箇所が存在する場合には、電動ズ-ムレンズ4の拡大率を上げて、その箇所のみの画像を取り込み以降同様の画像処理を行う。
請求項（抜粋）：
X-Yテーブルに載置した被検査体の外観を光学的に入力するカメラと、該カメラの焦点距離を可変する電動ズームレンズと、前記カメラで入力した画像を画素毎に2値化若しくは多値化するディジタル化手段と、該ディジタル化手段で2値化若しくは多値化された信号と予め正常品の外観を前記カメラで入力し2値化若しくは多値化した信号間の差分をとる差分処理手段と、該差分処理手段で差分をとった残分の面積計算をする異常部分面積算出手段と、該異常部分面積算出手段で求めた面積を第1のしきい値及び第2のしきい値と比較する比較手段と、該比較手段の比較により面積が第1のしきい値以上第2のしきい値未満のとき異常部分の位置及び/又は大きさを算出する位置等算出手段と、該位置等算出手段で算出した異常部分の位置まで前記X-Yテーブルの所定位置又は前記カメラの中心を移動する移動手段と、前記電動ズームレンズの倍率を上昇させ異常部分を拡大撮像する異常部分拡大手段を備え、該異常部分拡大手段で撮像した拡大された異常部分に基づき再び前記ディジタル化手段による2値化若しくは多値化、差分処理手段による差分、異常部分面積算出手段による面積計算、比較手段による第3のしきい値との比較、位置等算出手段による異常部分の位置及び/又は大きさの算出処理を行い、前記比較手段による比較の結果が第3のしきい値以上のとき、被検査体の異常警報及び/又は異常部分の位置・大きさを表示することを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 1/00
G01B 11/24 F
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 380
