特許

J-GLOBAL ID：200903018057141176

ドライ現像用感放射線性樹脂組成物

発明者： 加藤 一憲 ,  高木 正広 ,  高橋 俊彦 ,  柳原 健児
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182936
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003819
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】 KrFエキシマレーザー等の遠紫外線を含めた各種放射線に対して適用することができる、高感度且つ高解像度のドライ現像用感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (1)フェノール性水酸基含有樹脂と1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化合物、および/または(2)フェノール性水酸基含有樹脂中のフェノール性水酸基の一部を1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化した樹脂を含有することを特徴とするドライ現像用感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(1)フェノール性水酸基含有樹脂と1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化合物、および/または(2)フェノール性水酸基含有樹脂中のフェノール性水酸基の一部を1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル化した樹脂を含有することを特徴とするドライ現像用感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/36 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-005060
  
• 特開平2-127645
  
• 特開平3-154058
  
• 特開平1-210944