特許

J-GLOBAL ID：200903018059546122

ウェーハのノッチ部研磨装置

発明者： 長谷川 文彦 ,  黒田 泰嘉 ,  土屋 敏弘 ,  市川 浩一郎 ,  稲田 安雄
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社 ,  不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281436
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118226
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】【目的】 ノッチ部の内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面の均質性を維持することができる、ウェーハのノッチ部研磨装置を提供する。【構成】 ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用リールを回転させるモータと、前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リール間で前記テープの裏面を支持して前記テープの表面を前記ノッチ部内面に当接させるためのテープ支持部材と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面との接触を保持した状態で前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リールを動作させて前記テープを前記ノッチ部内面に対して相対的に往復移動させるテープ往復手段とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用リールを回転させるモータと、前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リール間で前記テープの裏面を支持して前記テープの表面を前記ノッチ部内面に当接させるためのテープ支持部材と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面との接触を保持した状態で前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リールを動作させて前記テープを前記ノッチ部内面に対して相対的に往復移動させるテープ往復手段とを備えたことを特徴とするウェーハのノッチ部研磨装置。