特許

J-GLOBAL ID：200903018060070468

ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 依田 安史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064663
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257143
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 ステージの位置制御性を良好に維持することが可能なステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置12は、ステージST1が第1基準面44aに沿って移動可能である第1状態と、ステージST1が第2基準面97a〜97dに沿って移動可能である第2状態とを、相互に切り替える切り替え装置を備えている。切り替え装置は、ステージST2についても同様に第1状態と第2状態とを切り替える。このため、第1基準面が定盤44に形成され、第2基準面がガイド67A〜67Dに形成されていても、ステージST1、ST2の移動にとって何らの不都合も生じない。このため、第1基準面と第2基準面とが同一の部材に形成される場合に比べて、定盤44を小型化することができる。従って、基準面の加工の困難性を克服できるとともに、要求される精度に応じてステージの位置制御性を良好に維持できる。

請求項（抜粋）：

物体を保持して移動するステージと;該ステージが移動する際の基準となる第1移動基準面が形成された第1基準部材と;前記第1移動基準面と異なる第2移動基準面が形成された第2基準部材と;前記ステージが前記第1移動基準面に沿って移動可能である第1状態と、前記ステージが前記第2移動基準面に沿って移動可能である第2状態とを相互に切り替える切り替え装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00

FI (5件)：

B23Q 5/28 B ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (9件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB13 ,  2F078CC11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12