特許
J-GLOBAL ID：200903018069042076
集積回路検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316357
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150004
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 安価な装置で、速く正確に集積回路を検査することにある。【構成】 集積回路検査装置は、集積回路9を載置するための載置台3と、集積回路9を検査するための1対の微細接触針14a,14bを有するマイクロマニピュレータとを備えている。
請求項（抜粋）：
集積回路を載置するための載置台と、前記集積回路を検査するための1対の微細接触針を有するマイクロマニピュレータと、を備えた集積回路検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 K
, G01R 31/28 J
