特許
J-GLOBAL ID:200903018087424016

研磨材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新井 清子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-129589
公開番号(公開出願番号):特開平5-293765
出願日: 1992年04月22日
公開日(公表日): 1993年11月09日
要約:
【要約】【目的】 自由曲面を有する被研磨体に対する研磨作業においても、品質の高い均一な研磨を迅速に行ない得る研磨材を提供する。【構成】 破断伸度が150%以上の可撓性プラスチックフィルムからなる研磨シート用基材と、該研磨シート用基材の少なくとも片面に積層されている研磨層とからなり、前記研磨層が研磨材粒子を含有する樹脂層で形成されているシートからなる研磨材、及び、該研磨材を成形用素材とする真空,圧空成形体たる複曲面成形シートからなる研磨材。
請求項(抜粋):
破断伸度が150%以上の可撓性プラスチックフィルムからなる研磨シート用基材と、該研磨シート用基材の少なくとも片面に積層されている研磨層とからなり、前記研磨層が、研磨材粒子を含有する樹脂層で形成されているシートからなることを特徴とする研磨材。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-073275
  • 特開平1-109083
  • 特開平3-277480

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