特許

J-GLOBAL ID：200903018107627563

レーザ顕微鏡

発明者： 小沢 一雅 ,  井上 享 ,  茂原 政一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228295
公開番号（公開出願番号）：特開平6-075169
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、作製費が安価で長期間安定した測定ができるレーザ顕微鏡を提供する。【構成】 レーザ光を被測定物に照射してその反射光をもとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、レーザ光発光面の形状を一次元CCDイメージセンサ17の受光面の縦横比と同一又は略同一として一方向に延びるレーザスリット光LS を発するレーザダイオード21と、この一方向に延びるスリット光LS の被測定物Rでの反射光RLS を受光する一次元CCDイメージセンサ17とを具備してなり、安定してレーザ光をスリット状に絞り込むことができると共に製作コストも安くなる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を被測定物に照射してその反射光を一次元受光部で受光し被測定物の表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、そのレーザ光発光面の形状を一次元受光部の受光面の縦横比と同一又は略同一として一方向に延びるレーザスリット光を発するレーザダイオードと、この一方向に延びるスリット光の被測定物での反射光を受光する一次元受光部とを具備することを特徴とするレーザ顕微鏡。