特許

J-GLOBAL ID：200903018116116806

平均値のドリフトを考慮した電子部品のテスト方法

発明者： フィリップ ルジュヌ
出願人/特許権者： ベアラッチ ノ ボ フィン テオ/タ ギャラクシー
代理人 (1件)： 越場 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229108
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110755
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】部品の製造におけるドリフトの徴候をより速く検出する。【解決手段】テスト期間の最適化を実現する電子部品のテスト方法は、最初のテスト日(D0)から最先の測定日(Dm)を選択することから成る。この方法では、部品の母集団(P1、P2)から得られた統計的イメージ(IS)を考慮し、且つこれらの統計的イメージ(IS)を規準を用いて互いに比較して、最先の測定日が選択される。この規準は、異なる測定日の同じテストを繰り返す間に、テスト母集団によって出力された応答の平均値および幅を考慮する。

請求項（抜粋）：

部品(2)の端子(4)に最初の日に電位(Ve)を印加し、この部品の端子に現れる応答(Vs)を測定日(Dm)に測定し比較の関数として部品を許容または拒否するために、上記応答を許容限界値(Linf,Lsup)と比較し、少なくともテストされた中間測定日(Dmi-TEST)に得られた応答を表す中間統計的イメージ(ISi-TEST)を、良質の部品の母集団(P1)から得られる公称測定日に得られた応答を表す公称統計的イメージ(IS0)とを比較するために適用される規準によって測定日を規定し、選択された測定日がテストされる最先の中間測定日である、電子部品をテストする方法において、統計的イメージを互いに比較するために適用される規準が、統計的イメージ毎に得られた応答の幅(R0、Ri-TEST)の評価を含むことを特徴とする、電子部品をテストする方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/28

FI (2件)：

H01L 21/66 Z ,  G01R 31/28 H

Fターム (9件)：

2G132AA00 ,  2G132AD01 ,  2G132AE00 ,  2G132AL09 ,  2G132AL11 ,  4M106AA02 ,  4M106BA14 ,  4M106CA32 ,  4M106DJ18