特許
J-GLOBAL ID：200903018117540881
高多孔質非蒸発性ゲッター材料とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337693
公開番号（公開出願番号）：特開平8-225806
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【課題】 多孔質非蒸発性ゲッター材料の高収着速度と高収着容量と高機械的強度を同時に満足させること。【解決手段】 粒子寸法が約70μm未満の金属ゲッター元素の粉末と、粒子寸法が約40μm未満の一種以上のゲッター合金の粉末と、室温で固体であり、空気にさらした時又は次の熱処理の期間に残留物を残さないで昇華又はガス状生成物に分解される性質を有し、第1部分の粒子が約50μm未満の粒子寸法を有し、第2部分の粒子が約50μmと約150μmの間の粒子寸法を有し、第1部分と第2部分の重量比が4:1〜1:4である2つの部分を有する有機化合物粉末との粉末混合物を作り、この粉末混合物を1000Kg/cm2 未満の圧力で圧縮し、次いでこの圧縮された混合物を真空又は不活性ガス中、900〜1200°Cの温度で、5分〜1時間焼成することを特徴とする、多孔質、ガス収着速度、及び容量の点で改良された非蒸発性ゲッターの製造方法。
請求項（抜粋）：
A) i) 粒子寸法が約70μm未満の金属ゲッター元素の粉末と、ii) 粒子寸法が約40μm未満の一種以上のゲッター合金の粉末と、iii)室温で固体であり、空気にさらした時又は次の熱処理の期間に残留物を残さないで昇華又はガス状生成物に分解される性質を有し、第1部分の粒子が約50μm未満の粒子寸法を有し、第2部分の粒子が約50μmと約150μmの間の粒子寸法を有し、第1部分と第2部分の重量比が4:1〜1:4である2つの部分を有する有機化合物粉末との粉末混合物を作り、B)この粉末混合物を1000Kg/cm2 未満の圧力で圧縮し、次いでC)この圧縮された混合物を真空又は不活性ガス中、900〜1200°Cの温度で、5分〜1時間焼成することを特徴とする、多孔質、ガス収着速度、及び容量の点で改良された非蒸発性ゲッターの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B22F 5/00 101 B
, C22C 1/04 E
