特許

J-GLOBAL ID：200903018121576491

電磁気駆動装置

発明者： マルクス・ブルガー
出願人/特許権者： エセック・ソシエテ・アノニム
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365668
公開番号（公開出願番号）：特開2000-197334
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 ボンドヘッドの軸受を変形させたり、ボンドヘッドに望ましくない振動を生じさせない、ワイヤボンダに使用される電磁気駆動装置を提供することである。【解決手段】 横方向への自由度を有する、ステータ(2)とコイル(3)を備える電磁気駆動装置において、コイル(3)は、コイル(3)上のステータ(2)によって作用された力Fが常に駆動装置によって移動された作業装置(1)の重心(5)にできるだけ近い点Pに向けられるかあるいは点Pから向けられるように配置される。それ故に力Fの方向はステータ(2)に対するコイル(3)の位置で決まる。コイル(3)は、作業装置(1)の重心と一致する点を中心とする同心の弧に沿って巻かれた一重の巻線(6)を備えることが望ましい。そのような駆動装置は、たとえば、ワイヤボンダーのボンドヘッドを駆動するのに用いられる。

請求項（抜粋）：

平面内で作業装置(1)を移動させる電磁気駆動装置であって、ステータ(2)および該ステータ(2)に非接触結合されたコイル(3)とを有するものにおいて、前記コイル(3)の巻線(6a)における前記平面と平行となる部分は、曲線形状に、あるいは複数の直線部分(22)によって略曲線形状に、形成されていることを特徴とする電磁気駆動装置。

IPC (2件)：

H02K 33/18 ,  H01L 21/60 301

FI (2件)：

H02K 33/18 A ,  H01L 21/60 301 G