特許
J-GLOBAL ID：200903018122058826
走査型発光顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-118924
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311794
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡に付加的に機能を追加構成することにより、探針走査速度を損なうことなく高品質の微弱光画像測定を可能とする走査型発光顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】探針2から荷電粒子あるいは投射光を試料1に注入し、注入された上記荷電粒子あるいは上記投射光によって生じた光3を検出し、光3に対応したパルス信号を出力する光検出器4と、上記パルス信号の個数を積算する積算器6とを有する走査型発光顕微鏡において、上記パルス信号の積算動作の開始もしくは停止を、単一線からなる信号線7によって制御し、また、上記パルス信号の積算結果の読み出し、もしくは消去を、単一線からなる信号線8によって制御し、さらに、上記積算結果をデジタル・データとして積算データ出力端子10aから出力する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子あるいは投射光を試料に注入する探針及び制御装置を有する走査型プローブ顕微鏡と、注入された上記荷電粒子あるいは上記投射光によって生じた光を検出し、検出された上記光に対応したパルス信号を出力す光検出器と、上記パルス信号の個数を積算する積算器とを有する走査型発光顕微鏡において、上記パルス信号の積算動作の開始もしくは停止を、単一線からなる第1の信号線によって伝播可能な信号で制御し、上記パルス信号の積算結果の読み出し、もしくは消去を、単一線からなる第2の信号線によって伝播可能な信号で制御し、上記積算結果を上記走査型プローブ顕微鏡に伝送することを特徴とする走査型発光顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 Z
, G01N 21/62 A
